Keithley仪器公司宣布推出其具有40GHz射频测量性能的S630DC/RF参数测试系统。此性能扫清了对先进半导体器件对超薄栅极介质进行精确量测的主要障碍。
时至今日，我们还无法对接近0.5nm厚的栅极介质进行精确的电量测，特别对无线通讯器件。在对这些器件进行测试的时候，测量中的高损耗系数以及相位误差（可能引起高于20GHz的谐波频率）将导致不准确的测量结果。Keithley的高频（40GHz）射频测量技术扫清了这个障碍。通过设计与测试头可靠的射频连接并采用独立笼脚测试（per-pin）技术，此系统实现了无与伦比的精确度与可重复性。此外，该系统还采用了先进的矢量网络分析仪（VNA）和直流/射频探针卡技术。当系统用于合适的测试结构设计，它可以使用不同的探针同时进行直流和射频测试，极大的降低了测试的时间和成本。其固有的直流分辨率为100aA和100nV。这个系统还支持300mm自动测量标准，并兼容200mm和300mm探针台。
S630DC/RF 40GHz测试系统是领先的半导体测试设备厂家以及该行业最一流的VNA和直流/射频探针卡系统供应商共同合作的。Anritsu公司的自校准40GHz VNA和GGB Industries的高频探针卡是该测量技术的重要组成部分。此外，测试头的设计在DUT附近设置了复数阻抗偏压，可以在VNA的最大频率上进行多偏压电容测量。高频率降低了电介质损耗，因此确保了测量的精确性。DUT互相连接的寄生元件自动不计入测量。标准的量子力学和多晶硅空乏校正也可以应用于分离出的电容。测试头设计还降低了杂散电容和测量安装时间，以保持较高的处理能力。
与S630DC/RF测试系统相配套的是标准的、具有完备支持的测试环境 — Keithley测试环境（KTE）。测试结果可以轻松的输入各种器件模型提取软件，如BSIMPro™、IC CAP和UTMOST™。KTE USERLIB宏指令计算s-参数并对s-参数进行标准还原到射频参数，以用于量测和工艺监控。VNA、内连、探针卡适配器、探针卡、以及校准基板都作为一个完整的系统进行规范和校准。整个系统校准可以在大约2分钟内完成，这使得器件参数提取工程师和生产测试工程师有更多的时间收集可靠的数据并进行分析。
KTE也可以用于新工艺及应用，操作简便而且成本合理。KTE和S630DC/RF能够对FRAMs、MRAMs以及PCRAM/OUM等器件进行量测。此参数测试系统可以提供良好的准确度和精密度，这是半导体制造对具有高损耗系数的复数阻抗进行测量时不可或缺的，而早前的交流测量技术并无法提供此种性能。另外，此硬件和软件共同组成了一个完全可扩展的解决方案，可以对目前以及将来的工艺和材料进行量测及模型化。
时至今日，我们还无法对接近0.5nm厚的栅极介质进行精确的电量测，特别对无线通讯器件。在对这些器件进行测试的时候，测量中的高损耗系数以及相位误差（可能引起高于20GHz的谐波频率）将导致不准确的测量结果。Keithley的高频（40GHz）射频测量技术扫清了这个障碍。通过设计与测试头可靠的射频连接并采用独立笼脚测试（per-pin）技术，此系统实现了无与伦比的精确度与可重复性。此外，该系统还采用了先进的矢量网络分析仪（VNA）和直流/射频探针卡技术。当系统用于合适的测试结构设计，它可以使用不同的探针同时进行直流和射频测试，极大的降低了测试的时间和成本。其固有的直流分辨率为100aA和100nV。这个系统还支持300mm自动测量标准，并兼容200mm和300mm探针台。
S630DC/RF 40GHz测试系统是领先的半导体测试设备厂家以及该行业最一流的VNA和直流/射频探针卡系统供应商共同合作的。Anritsu公司的自校准40GHz VNA和GGB Industries的高频探针卡是该测量技术的重要组成部分。此外，测试头的设计在DUT附近设置了复数阻抗偏压，可以在VNA的最大频率上进行多偏压电容测量。高频率降低了电介质损耗，因此确保了测量的精确性。DUT互相连接的寄生元件自动不计入测量。标准的量子力学和多晶硅空乏校正也可以应用于分离出的电容。测试头设计还降低了杂散电容和测量安装时间，以保持较高的处理能力。
与S630DC/RF测试系统相配套的是标准的、具有完备支持的测试环境 — Keithley测试环境（KTE）。测试结果可以轻松的输入各种器件模型提取软件，如BSIMPro™、IC CAP和UTMOST™。KTE USERLIB宏指令计算s-参数并对s-参数进行标准还原到射频参数，以用于量测和工艺监控。VNA、内连、探针卡适配器、探针卡、以及校准基板都作为一个完整的系统进行规范和校准。整个系统校准可以在大约2分钟内完成，这使得器件参数提取工程师和生产测试工程师有更多的时间收集可靠的数据并进行分析。
KTE也可以用于新工艺及应用，操作简便而且成本合理。KTE和S630DC/RF能够对FRAMs、MRAMs以及PCRAM/OUM等器件进行量测。此参数测试系统可以提供良好的准确度和精密度，这是半导体制造对具有高损耗系数的复数阻抗进行测量时不可或缺的，而早前的交流测量技术并无法提供此种性能。另外，此硬件和软件共同组成了一个完全可扩展的解决方案，可以对目前以及将来的工艺和材料进行量测及模型化。
